背景：

MEMS氣體傳感器不同于其他的物理類氣體傳感器芯片。它涉及化學(xué)、材料、自動化、精密儀器、電子、半導(dǎo)體制造、軟件與算法等多種學(xué)科中的技術(shù)。這就導(dǎo)致其制造難度大，工藝流程復(fù)雜。

MEMS氣體傳感器介紹：

目前，應(yīng)用市場上的MEMS氣體傳感器大多以單晶硅材料為基底，MOS金屬氧化物組份為氣體敏感元件。當(dāng)氣敏元件暴露在有被測氣體的空氣中，氣體會與它們發(fā)生作用，引起電導(dǎo)率或電阻率的變化，產(chǎn)生包含氣體成分和濃度的電信號，經(jīng)過信號處理電路處理后，即可識別氣體的成分和濃度。

MEMS半導(dǎo)體氣敏傳感器采用微電子技術(shù)中的成膜工藝，在硅襯底上淀積金屬氧化物敏感層，利用敏感層下的電阻做加熱器，利用二極管做測溫元件，必要的信號電路和讀出電路也可以集成在同一硅芯片上。

MEMS微氣體傳感器的特點在于將加熱電極、絕緣層和測試電極一層一層依次堆積疊加在一起。

技術(shù)水平的不斷進步，使得市場上對小體積、低功耗、智能化、模塊化的氣體傳感器的需求越來越大，特別是在物聯(lián)網(wǎng)等泛在應(yīng)用的推動下，MEMS傳感器的應(yīng)用空間也越來越廣闊。

應(yīng)用：

基于MEMS工藝的半導(dǎo)體敏感材料(MOS)氣體傳感器開始在智能家電、智能家居、移動穿戴、物聯(lián)網(wǎng)環(huán)境監(jiān)測、樓宇控制以及醫(yī)療健康早期篩查等的氣體檢測領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

一直以來，氣體傳感器在物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展中扮演關(guān)鍵角色，采暖、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）系統(tǒng)、空氣凈化器、智能窗戶、汽車、醫(yī)療器械、大氣環(huán)境監(jiān)測、石油化工產(chǎn)業(yè)等等各種行業(yè)都有氣體傳感器的身影。